Numéro de Norme: GB/T 24575-2009
Chinois:硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
Français:Méthode d’essai pour mesurer le sodium, l’aluminium, le potassium et le fer en surface sur des substrats de silicium et d’épi par spectrométrie de masse d’ions secondaires
Date d’Entrée en Vigueur:2010-06-01
Autorité de Régulation:Administration nationale de normalisation de la Chine
Autorité de Régulation émettrice:Administration générale de la supervision de la qualité, de l’inspection et de la quarantaine de la République populaire de Chine,Administration de la normalisation de Chine (SAC)
Conforme aux normes internationales:Y
Téléchargeable en PDF:N
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