Numéro de Norme: GB/T 39145-2020
Chinois:硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
Français:Méthode d’essai pour la teneur en éléments métalliques de surface sur les plaquettes de silicium – spectrométrie de masse à plasma à couplage inductif
Date d’Entrée en Vigueur:2021-09-01
Autorité de Régulation:Administration nationale de normalisation de la Chine
Autorité de Régulation émettrice:Administration d’État pour la surveillance et l’administration des marchés,Administration de la normalisation de Chine (SAC)
Conforme aux normes internationales:N
Téléchargeable en PDF:Y
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