Numéro de Norme: GB/T 41064-2021
Chinois:表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法
Français:Analyse chimique de surface-Profilage en profondeur-Méthode de détermination de la vitesse de pulvérisation en spectroscopie photoélectronique à rayons X, spectroscopie électronique Auger et spectrométrie de masse à ions secondaires Profilage en profondeur de la pulvérisation à l’aide de films minces à une ou plusieurs couches
Date d’Entrée en Vigueur:2022-07-01
Autorité de Régulation:Administration nationale de normalisation de la Chine
Autorité de Régulation émettrice:Administration d’État pour la surveillance et l’administration des marchés,Administration de la normalisation de Chine (SAC)
Conforme aux normes internationales:Y
Téléchargeable en PDF:N
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